1.电子枪类型：肖特基场发射电子枪
2.分辨率:
2.1二次电子：
高真空模式：1.0 nm@30 kV 2.1 nm@1 kV
低真空模式：1.3 nm@30 kV 3.0 nm@3 kV
环境真空模式：1.3nm@30 kV
2.2背散射电子：
高真空模式：2.5nm@30 kV
低真空模式：2.5nm@30 kV
3.加速电压： 200 V-30 KV
4.放大倍率：6－2500000倍
5.样品室真空度：
高真空模式下优于6×10-4Pa
低真空模式下10Pa-200Pa
环境真空模式下10Pa-4000Pa
6. 能谱仪：
6.1配备双探测器，每个探测器晶体有效探测面积：≥60mm2
6.2能量分辨率：MnKα能量分辨率：优于126eV
6.3元素探测范围： Be(4) -Am(95)
