1.电子枪类型:冷场场发射电子枪
2.电子枪束流≥2.5nA@0.7nm(束斑)@200kv
3.TEM分辨率:
3.1点分辨率:≤0.23nm@200KV
3.2线分辨率:≤0.10nm@200KV 0.14nm@80KV
3.3背散射电子分辨率:≤1.0nm@200KV
3.4信息分辨率:≤0.11nm@200KV
4.STEM分辨率
4.1STEM BF/DF分辨率:≤0.16nm@200KV ≤0.31nm@80KV
4.2明场分辨率:≤0.16nm@200KV
4.3 暗场分辨率:≤0.16nm@200KV
4.4HAADF分辨率:≤0.16nm@200KV
5.放大倍率:
5.1TEM模式:20-2,000,000倍
5.2STEM模式: 200~150,000,000倍
6.能谱仪
6.1配备双探测器,每个探测器晶体有效探测面积:≥100mm2
6.2能量分辨率:133eV
6.3元素探测范围: Be(4) -U(92)