1.电子枪类型：冷场场发射电子枪
2.分辨率： .
2.1二次电子：1.0nm@15KV 1.3nm@1KV
2.2背散射电子：2.5nm@15KV
3.加速电压：100V-30KV
4.放大倍率：20-2000000倍
5.真空度：10-7Pa (电子枪)；10-4Pa (样品室)
6.具有顶部、高位和低位三个二次电子探测器
7. 能谱仪：
7.1 配备单探测器，探测器晶体有效探测面积：≥30mm2
7.2能量分辨率：MnKα能量分辨率：优于129eV
7.3元素探测范围： Be(4)-U(92)
