在原位/准原位状态下对固体样品的表面（1nm~10nm）区域的元素成分和价态进行定性和定量分析，可实现多种材料的电化学、光、热原位高精度的元素成分、价态、相对含量、浓度掺杂及分布等功能分析
Al单色X射线源，最大功率600W；
180°半球扇形分析器，平均半径：不小于160mm；
通过能：1～400eV可调；
单Ar离子能量：0.5～5keV；
大束斑分析能量分辨率和灵敏度（Ag 3d5/2峰）：0.45eV@160kcps；0.5eV@650kcps；0.6eV@2500kcps；
最小束斑能量分辨和灵敏度（Ag 3d5/2峰）：0.5eV@1.5kcps、0.6eV@6kcps
